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1、工藝原理
（1）金屬在真空狀態(tài)下的相變特點。
在與大氣壓只差0.1MPa范圍內(nèi)的真空下，固態(tài)相變熱力學、動力學不產(chǎn)生什么變化。在制訂真空熱處理工藝規(guī)程時，完全可以依據(jù)在常壓下固態(tài)相變的原理。完全可以參考常壓下各種類型組織轉(zhuǎn)變的數(shù)據(jù)。
（2）真空脫氣作用，提高金屬材料的物理性能和力學性能。
（3）真空脫脂作用。
（4）金屬的蒸發(fā)：在真空狀態(tài)下加熱，工件表面元素會發(fā)生蒸發(fā)現(xiàn)象。

表一 各種金屬的蒸氣壓

 

 

 

（5）表面凈化作用，實現(xiàn)少無氧化和少無脫碳加熱。

 

 

金屬的氧化反應是可逆的：Mo≒2M+2O  2O→O2↑
取決于氣氛中氧的分壓和金屬氧化物的分壓的大小。
當氧分壓大于金屬氧化物的分壓時，反應向左進行，金屬表面產(chǎn)生氧化。反之，如氧化物的分解壓大于氧的分壓，反應向右進行，其結(jié)果是氧化物分解。
亞氧化物理論和真空爐中碳元素存在，使爐內(nèi)氧的分壓低于金屬氧化物的分壓，使金屬不會氧化。

表二 真空度和相對雜質(zhì)及相對露點關系

 

 

2、真空熱處理的加熱特點：

兩個顯著特點：一是空載時爐子的升溫速度快，二是工件的加熱速度慢。